X射线光电子能谱，简称XPS,别称ESCAX射线光电子能谱学是近四十年来发展起来的一门综合性学科。它与多种学科相互交叉，融合了物理学，化学，材料学，真空电子学，以及计算机技术等多学科领域。现代X射线光电子能谱学已经发展为一门独立的，完整的学科。它是研究原子，分子和固体材料的有力工具。
优点:(1)可测除H、He以外的所有元素。(2)亚单层灵敏度;探测深度1~20单层，依赖材料和实验参数。(3)定量元素分析。(4)优异的化学信息，化学位移和伴峰结构与完整的标准化合物数据库的联合使用。(5)分析是非结构破坏的;X射线束损伤通常微不足道。(6)详细的电子结构和某些几何信息。缺点:(1)典型的数据采集相对较慢，部分原因是由于XPS通常采集了更多的细节信息。(2)使用Ar离子溅射作深度剖析时，不容易在实际溅射的同时采集XPS数据。(3)横向分辨率较低，15u(小面积)， 3μ(成像)。
